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CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置

文章来源:本站人气:359发表时间:2018-12-07 10:37:40

CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置
CVD设备接scrubber是干什么用的?scrubber 一般接在什么位置?下面由金宝博国际娱乐科技来为大家简单的讲解一下CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置。

Scrubber基本上是专为CVD设备的尾气处理而设计的一种设备,CVD尾气一般含有大量Particles以及棘手的未反应易爆易燃或有毒气体排出,Scrubber为降低后端处理的困扰与安全而专门设计的设备。local scrubber专属CVD单台或多台使用,可分为燃烧式, 加热式, 等离子式, 搭配水洗!

金宝博娱乐_Scrubber设计安装

Scrubber设备的分类
scrubber根据不同的工艺,产生不同的尾气;选用不同的处理方式的!
scrubber设备有电加热式、燃气式、吸附式、还有一种是用plasma式,其中吸附式要更换吸附桶,使用起来价格比较高,但维护起来是最方便的。
一般选用可用加热水洗式,水洗加热再水洗式。SiH4在燃烧后会反应成SIO2。NH3与水反应会产生结晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的离子键会在燃烧后打开,再跟水反应成HF。
Scrubber设备的安装位置
Scrubber设备一般安装在设备真空泵pump和废气排出总管之间。有毒有害的废气经过真空泵pump抽压抽到Scrubber设备经过处理后然后在排到厂务。
以上就是金宝博国际娱乐科技为大家简单讲解的关于CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置,希望能给大家提供参考。
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关键词:CVD设备供气 Scrubber生产厂家 尾气处理系统安装
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